Comments
Description
Transcript
Guida a canale
Ottica integrata in strutture microe sub-micrometriche Giovanni Breglio Dipartimento di Ingegneria Elettronica [email protected] DIBET 2° Scuola di Tecnologie Ottiche Circuiti Opto Elettronici Integrati Quello che si vuole realizzare sono chip di semiconduttore o dielettrico in cui siano integrate tutte le funzioni ottiche ed elettroniche Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 2 Blocchi funzionali do un OEIC Sorge innanzitutto la necessità, oltre le altre componenti, di realizzare i canali che trasportano la luce Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 3 TEORIA DELLA GUIDA SLAB Ci riferiamo a guide prive di perdite Light Light n2 Light Light n2 n 1 > n2 Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 4 Leggi di Snell e riflessione interna totale n1 sinq1 = n2 sinq2 C n2 n1 q1 q1 1 A 1 B rTE rTM n1 cos q1 n22 n12 sin2 q1 n1 cos q1 n22 n12 sin2 q1 n22 cos q1 n1 n22 n12 sin2 q1 n22 cos q1 n1 n22 n12 sin2 q1 Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 5 Angolo critico r rTE r rTM n1 cos q1 n22 n12 sin2 q1 n1 cos q1 n22 n12 sin2 q1 n22 cos q1 n1 n22 n12 sin2 q1 Il valore di angolo di incidenza che Annulla la radice è detto angolo critico n22 cos q1 n1 n22 n12 sin2 q1 sin qcr = n2/n1 Con q1< qcr R è reale e si ottiene una parziale riflessione Con q1> qcr |R|=1 e siamo in condizione di Riflessione Interna Totale Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 6 Confinamento In una guida slab si possono presentare tre condizioni: a) entrambe le interfacce hanno R reale; b) Solo una presenta una R complessa; c) entrambe le interfacce mostrano R complessa. Tratteremo il caso c. Propagazione confinata. Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 7 Propagazione in guida Il raggio che si propaga in guida deve accumulare interferenze costruttive. Ciò accade solo per determinati angoli di incidenza riferiti agli indici e alle dimensioni della guida n2 B l k q E Light A k1 b n 1 d = 2a q q C y x z n2 L’accumulo di fase da A a C è determinato dal percorso in guida AB+BC e dalle due riflessioni TIR in B e C Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 8 Propagazione in guida L’accumulo di fase da A a C è determinato dal percorso in guida AB+BC e dalle due riflessioni TIR in B e C che determinano uno sfasamento ( AC) k1( AB BC) 2 m(2 ) Siccome BC = d/cosq, allora ( AB BC ) BC cos(2q ) BC BC 2 cos2 q 1 1 2d cosq quindi ( AC) k1(2d cosq ) 2 m(2 ) Dove però dipende da q Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 9 Propagazione in guida Condizione di guida d’onda 2 n1(2a ) cosq m m m l All’aumentare dell’ordine del modo l’angolo diminuisce Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 10 Condizione di propagazione Se considero un’onda monocromatica con frequenza angolare , lunghezza d’onda in spazio libero l, lungo la direzione della loro normale presenta un vettore d’onda pari a k n1. Il modulo di k è: k=2/l=/c La fase di tale onda varia come: exp[j k n1 (y cosq + z sinq)] Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 11 Condizione di propagazione Per un modo confinato, quindi, il percorso a zig-zag impone una costante di propagazione lungo l’asse di propagazione z della guida pari a: bm= k n1 sinqm che, ovviamente, non è altro che la componente di k n1 lungo z Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 12 Condizione di propagazione Con riferimento alla relazione b= k n1 sinq si ottiene che solo un set discreto di valori di b permette il confinamento in guida. Ricordando che per avere confinamento bisogna verificare q > qc si ottiene per la costante di propagazione la seguente relazione: k n 2 < b < k n1 Spesso è utile introdurre il cosiddetto indice di rifrazione efficace definito come: neff= b/k = n1 sinq Da cui la condizione di propagazione è ottenuta quando: n2< neff <n1 Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 13 Valutazione dei Modi Guidati Dalla Condizione di guida d’onda 2 n1(2a ) cosq m m m ricaviamo l m (2a)k1 cosqm m Ricordiamo l’espressione dello sfasamento dovuto alla riflessione per condizione TIR del campo perpendicolare 1 sin2 q m n 2 tan( m ) 2 cosq m 12 Otteniamo sin q m n tan ak1 cosq m m 2 cosq m 2 2 12 f (q m ) Che può essere risolta graficamente Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 14 Modi guidati tan(ak1cosqm –m/2) m = 1, dispari m = 0, pari n sin (q m ) 2 n1 cos(q m ) 2 2 89.17 10 88.34 5 q 87.52 86.68 c q 0 82 84 86 88 Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio m 90 15 Distribuzione di campo stazionario e propagante. n2 A 1 q E 2n1 sinq m l b m k1 sinq m B q k1 2q A 2 2q /2 C q n1 n2 Nel punto C le due onde interferiscono y B 2a x 1 2n1 k k cos q cos q m 1 m z m l m ( y ) m y m m a E1 ( y , z, t ) E o cos(t b m z k m y m ) E 2 ( y , z, t ) E o cos(t b m z k m y ) Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 16 n2 A 1 Centro della Guide q q E C a y k 2q A 2 a y y z x E ( y , z, t ) 2E o cos(k m y 1 1 m ) cos(t b m z m ) 2 2 Onda stazionaria Onda viaggiante Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 17 Propagazione mono-modo Campo di onda evanescente (decadimento esponenziale) y n2 E(y,z,t) = E(y)cos(t-boz) Campo di onda guidata E(y) m=0 n1 n2 Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 18 Propagazione multi-modo L’ordine del modo m è anche legato al numero di zeri che caratterizza E(y) y n E(y) Cladding 2 m=1 m=0 n n Core m=2 2a 1 2 Cladding Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 19 Guide d’onda planari Diversi esempi di guide a canale Raised strip na RIB waveguide nc ng ns ng ns nc ns nc ng ns Ridge Embedded strip ng ns ng na ng ns Buried channel Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 20 Guida a canale RIB Si è fatto riferimento a strutture guidanti in cui il confinamento della luce avveniva solo in una direzione, l’asse x (guida slab). Ora, invece, ci proponiamo di analizzare guide che offrono confinamento anche lungo la direzione y. Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 21 Guida a canale La differenza sostanziale con le guide slab è la dipendenza dell’indice di rifrazione non più dalla sola variale x ma, avendo introdotto una variazione sullo spessore della guida, anche da y; cioè si ha n=n(x,y). Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 22 Condizione di confinamento in slab Ricordiamo che la fase di un onda è data da: exp[j k nf (x cosq + z sinq)] Per un modo confinato, quindi, il percorso a zig-zag impone una costante di propagazione lungo l’asse di propagazione z della guida pari a: b= k nf sinq che, ovviamente, non è altro che la componente di k nf lungo z Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 23 Condizione di confinamento Ricordiamo che per avere confinamento bisogna verificare q > qc e considerando che b= k nf sinq si ottiene per la costante di propagazione la seguente relazione: k ns< b < k nf Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 24 Condizione di confinamento Avendo introdotto un diverso modo di indicare l’indice di rifrazione, si usa: indice di rifrazione efficace definito come: neff=b/ k= nf sinq b' b n ' eff b' k neff b k Dove b ' è la costante di propagazione nella zona con canale, mentre b è quella relativa alla zona senza canale e quindi sostanzialmente quella ricavata Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 25 Condizione di confinamento Quindi in altro modo la condizione di guida d’onda k ns< b < k nf La possiamo esprimere in termini di indice di rifrazione efficace ns< neff <nf Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 26 Metodo dell’Indice di rifrazione efficace Per analizzare tale metodo faremo riferimento alla figura seguente, da cui si può notare che le sezioni x-z possono essere ancora analizzate come guide slab. Viene, appunto, sfruttata tale osservazione per valutare i modi e la costante di propagazione della guida a canale. W nc nf tlat tg ns sviluppando la nostra trattazione solo relativamente ai modi TE Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 27 Guida a canale Considerando gli spessori tlat e tg, dello strato guidante per le zone laterali e per quella del canale. Si ricavano due diverse zone, bf per la zona del canale e bl per la zona laterale, da cui, possiamo calcolare gl’indici efficaci associati a tale zone; W nc nf ns tlat tg neff f bf k & neff l bl k Dato che l’altezza del canale (tg) è maggiore dello spessore (tlat) delle guide laterali, risulta nefff >neffl il che assicura il confinamento del campo del G. canale, Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e all’interno sub-micrometriche Breglio 28 Guida a canale Analizziamo ora la struttura osservabile dal piano yz, questa può essere vista ancora come una guida slab simmetrica, caratterizzata da un cover e un substrato di indice neffl e da uno strato di film di spessore W e indice di rifrazione nefff neffl nefff neffl W In tal caso, però, la costante di propagazione si ottiene risolvendo l’equazione trascendente relativa ai modi TM. Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 29 Guida a canale neff f bf k & neff l bl k Se, quindi, per la guida nel piano xz avevamo un modo TE questo diventa un modo TM per la guida nel piano yz e ovviamente vale il discorso duale per i modi TM Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 30 Guida a canale mono modale Vogliamo ora determinare le dimensioni da assegnare ad una guida a canale per ottenere la propagazione del solo modo fondamentale TE o TM. Riferiamo le dimensioni alla lunghezza d’onda l Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 31 Guida a canale mono modale • Consideriamo guide con sezioni trasverse grandi, condizione espressa dalla seguente relazione 2b n n 1 2 f 2 s • Non è necessario b grande si può anche lavorare sul salto di indice Ipotizzeremo, inoltre, che l’attacco laterale sia tale da rientrare sempre nella condizione 0.5 r < 1.0 (lo scavo è inferiore al 50% dello spessore del film) Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 32 Guida a canale mono modale Utilizzando, quindi, la condizione di mono-modicità V < Vs possiamo risolvere la V rispetto al rapporto di forma a/b come segue: 2Vs a b w 1 a r 0.3 b 1 r 2 Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 33 Guida a canale mono modale In pratica si decide di porre a = b ed entrambi, ovviamente, abbastanza grandi. Così da ridurre le cosiddette perdite per inserzione. Considerando quindi a = b significa scegliere un attacco tale da ottenere: r 0.573 ossia la struttura laterale al canale deve avere un’altezza maggiore del doppio dello spessore del canale stesso. Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 34 Guide d’onda Rib ad ampia sezione trasversa Le guide d’onda a larga sezione trasversa sono I componenti base dei moderni sistemi optoelettronici H,w>l w nc nf ns H h=rH Per questo è importande avere a disposizione una teoria affidabile per ottenere condizioni di Singolo Modo di propagazione nc Cover layer refractive index nf guiding film refractive index ns substrate layer refractive index w rib width nc ns n f H rib height confinement condition r etching complement l lightdi wavelength Scuola Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 35 Condizione di Singolo Modo w nc nf ns I più accreditati autori [1-3] hanno dimostrato che guide rib possono mostrare condizioni multimodo (per la direzione verticale) ; ma per adeguati valori di profondità di attacco laterale (r) e rapporto di aspetto w/H , la struttura supporta solo il modo fondamentale (per entrambe le polarizzazioni) H H l h=rH n f 2 ns 2 1 0.5 r 1 w r H 1 r2 0.3 [1] Usa la tecnica del Mode Matching 0 [3] Basato sui dati di [2], [1] R. A. Soref, J. Schimdtchen, K. Peterman, Journal of Quantum electronics, 27 ,8, 1971-1974 (1991) [2] A. G. Rickman, G. T. Reed, and F. Namavar, Usando l’approccio EIM correttamente J.Lightwave Technol., vol. 12, pp. 1771–76, 1994. [3] S. P. Pogossian, L. Vescan, A. Vosonsovici, Journal of Lightwave technology, 16 ,10, 1951- 1955 (1998). Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 36 Criterio delle condizioni al contorno Permette di dare un criterio di guida a singolo modo per guide RIB ad ampia sezione trasversa; si basa sul confronto di risultati di simulazione numerica modificando le condizioni al contorno: Con Neumann B.C. e Dirichlet B.C. per il primo modo di ordine superiore, Applicato alla stessa struttura (geometria e meshgrid) Risolvendo gli autovalori con un simulatore FEM. Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 37 Criterio La definizione di “modo guidato” richiede, dominio infinito di osservazione che risulta non praticabile nell’uso di risolutori numerici Il simulatore numerico trova soluzioni che Non sono nè fisiche nè definite dalla geometria del problema, piuttosto sono dovute alle condizioni al contorno. L’ipotesi di soluzione • I modi guidati dalla guida d’onda sono confinati alla rib e sono insensibili alle condizioni al contorno • le soluzioni non fisiche si estendono in maniera più ampia e sono più sensibili alle condizioni al contorno Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 38 Criterio Si cercano soluzioni del primo modo superiore, non valore di H fisso, w(r ) H se N D10 r N N 10 r * allora Il modo non è guidato, ma è una soluzione ‘spuria’ del simulatore Il valore corrispondente a r* è il limite fra la condizione a singolo modo e quella multi-modo r r* regione di singolo modo Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 39 in practica.... Si definisce la struttura in un Simulatore a FEM Si impongono condizioni di Dirichlet al contorno Si impongono condizioni di Neumann al contorno Si valutano numericamente gli autovalori dell’equazione di Helmholtz fissato H e al variare di w(r) Si valutano numericamente gli autovalori dell’equazione di Helmholtz fissato H e al variare di w(r) Si valuta, interpolando, se ND10 N N10 (r*) per definire Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio r* 40 Risultati N.B.: Il criterio è indipendente dal tipo di attacco e di geometria. E’ robusto [1] M. De Laurentis, A. Irace, and G. Breglio, ”Determination of single mode condition in dielectric rib waveguide with large cross section by finite element analysis”, J. Comput. Electronics, 2006. Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 41 Guide d’onda planari: esempi di materiali Si3N4 SiO2 Si Si3N4 SiO2 Si Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 42 Guide d’onda planari: esempi di materiali Si SiO2 Si Si low ne Si high ne Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 43 Guide d’onda planari: esempi di materiali SiOxNy 1 SiOxNy 2 SiO2 Si Si / Ge Si Si / Ge Si Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 44 Foto SEM Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 45 Foto SEM RIB Ad attacco profondo Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 46 Recenti tecnologie per ottica integrate WDM 4.6 mm 1 Chip (mag 5x) 4.8 mm Component 3 9 arrayed waveguide gratings+ 40 Photodetectors 4 Module 40 channel WDM monitor on-chip loss: 4 dB responsivity: 0.4 A/W crosstalk: - 35 dB Circuiti Integrati Optoelettronici G. Breglio L7b 47 Micro Cavità Ottiche Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 48 Cavità Fabry-Perot Consideriamo, per il calcolo dei campi riflessi, trasmessi, interni, di una cavità come in figura r1, t1, p1 r2, t2, p2 Indichiamo con ri e ti le riflettività per i campi, Ri, Ti, pi le perdite per le potenze. Vale dunque: r12 t12 p1 1 Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio ; r22 t 22 p2 1 49 Valori di Campo Ef t1Ein r1E b Eb r2 exp( j 2 )Ef Et t 2 exp( j )Ef E r E t E 1 in 1 b r nkL n Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 2 l L 50 Relazioni fra i Campi t1 E E in f 1 r1r2 exp( j 2 ) t1t 2 exp( j ) Et Ein 1 r1r2 exp( j 2 ) E E t1r2 exp( j 2 ) in b 1 r1r2 exp( j 2 ) 2 t E r E E 1 r2 exp( j 2 ) 1 in in r 1 r1r2 exp( j 2 ) r1 r2 (t12 r12 )exp( j 2 ) r1 r2 (1 p1 )exp( j 2 ) Er Ein Ein 1 r1r2 exp( j 2 ) 1 r1r2 exp( j 2 ) Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 51 Spettro in Intensità I t Et 2 Iin 1 r1r2 cos t t 1 1 1 r1r2 2 2 t12t12 2 Iin 4r1r2 sin2 ( ) (2 ) r1r2 sin (2 ) t t 2 2 1 1 1 r1r2 2 1 Iin 4r1r2 1 r1r2 2 Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio sin2 ( ) 52 Le grandezze che definiscono completamente una cavità ottica risonante possono essere riassunte in: • Distanza fra i picchi variando la lunghezza della cavità: • Distanza in fase fra due picchi: • Distanza fra i picchi variando la frequenza (Free Spectral Range) • Larghezza del picco a metà altezza : • Finezza (Finess) F l 2 FSR c 2L r1r2 1 r1r2 FSR • Massima trasmissività Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio tmax t1t2 1 r1r2 53 Nel caso di specchi uguali Se gli specchi di ingresso e di uscita sono uguali r1 = r2 = r t 1 = t2 = t allora la trasmittività è espressa tramite It t 4 1 r 2 Iin 2 1 4r 2 1 r 2 2 sin ( ) 2 T2 1 R 2 1 Iin 4R 1 R Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 2 sin ( ) 2 54 Per specchi uguali si possono introdurre facilmente le perdite (assorbimento di potenza) p da parte degli specchi: R T p 1 It 1 R p 1 R 2 2 1 Iin 4R 1 R 2 sin ( ) 2 2 2 Iin Iin p p 1 1 2 1 R 1 F sin ( ) 1 R 1 4 F 2 sin2 ( ) 2 F F 4R 1 R 2 2 F R 1 R 4r1r2 1 r1r2 coefficiente di finezza per riflettività 2 r1r2 1 r1r2 finezza per riflettività Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 55 Quindi se la cavità ha gli specchi uguali (e perdite nulle) si ha completa trasmissione della luce incidente alla risonanza, cioè la cavità ha trasmissione 1. Trascurando gli assorbimenti si ha in definitiva per l’intensità trasmessa l’espressione: It Iin 1 2 2 2 F sin nL l 2 4 Iin 1 2 2 F sin 2 nL 2 c 4 Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 56 Riflettori a reticoli di Bragg Ein Ein ET ER Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 57 Reticoli di Bragg waveguide k substrate Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 58 Calcolo della risposta di un Bragg Reflector Impedence Matching Method La riflettività viene calcolata dividendo la struttura in un grande numero di strati sottili che presentano valore costante dell’indice di rifrazione efficace neffi. Per mezzo della teoria dei Modi Accoppiati in ogni sezione della struttura periodica del reticolo di Bragg può essere ottenuta una soluzione analitica del campo e questa viene utilizzata per ottenere una matrice di trasferimento L (2x2) Mi della sezione. neff2 Ein neff1 Et Er neffi, Mi(neffi, L) Mgrating=∏iMpi Grating Trasfer Matrix Mpi=MiMi+1 Eri= Mpi Er Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 59 Potenza trasmessa e riflessa con l’approccio dei modi accoppiati K è il coefficiente di accoppiamento modale S k 2 b 2 () m () m 2 () m () m 2 jbL A ( L) jSe Teff A (0) b sinh( SL) jS cosh( SL) A (0) k sinh( SL) Reff A (0) b sinh( SL) jS cosh( SL) Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 2 2 60 Approccio Multilayer Permette di superare la limitazione di piccola perturbazione E ( L E (0 ) i ) M1 H ( L i ) H (0 ) E ( L i ) E ( L ) M2 H ( L i ) H ( L ) Cella elementare di un reticolo Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 61 Z0 cos b L j sin b L i i i i ni Mi ni sin b i L i cos b i L i j Z0 A B MT C D A cos b1L1 cos b 2 L 2 n2 sin b1L1 sin b 2 L 2 n1 1 1 B jZ0 cos b1L1 sin b 2 L 2 sin b1L1 cos b 2 L 2 n1 n2 1 n1 sin b1L1 cos b 2 L 2 n2 cos b1L1 sin b 2 L 2 C j Z0 n1 D cos b1L1 cos b 2 L 2 sin b1L1 sin b 2 L 2 n2 Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 62 Risposta in frequenza di Bragg 10 Reflection (dB) 0 -10 -20 -30 -40 -50 1547 lB 1547.5 1548 1548.5 1549 1549.5 1550 1550.5 1551 1551.5 Wavelength (nm) lB 2neff L Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 63 Cavità a reticoli di Bragg M MT MDMT Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 64 Microrisonatori ad Anello – Accoppiamento Laterale B.E.Little, 1998 Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 65 Microrisonatori ad Anello – Teoria Directional coupler Add Drop k,c R4 R3 Phaseshifter 0.5, 0.5r R1 R2 0.5, 0.5r Through k,c In Accoppiatore direzionale: j sin(k0 .Lc ) m jk 2 cos(k0 .Lc ) 2 SC 1 c 1 c k m j j sin(k0 .Lc ) cos(k0 .Lc ) Variazione di fase: SP e j r 2 .e 2 with m 1 k 2 Condizione di risonanza: 2. l .R.Neffring m Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 66 Microrisonatori ad Anello – Teoria In -jk e + m e j 2 j 2 e e r 2 -jk r 2 Drop m Feedback loop Legame con i parametri descrittivi della trasmessa: Equazioni base (Drop): EIn FC j 2 r 2 ( jk ) e e 1 m 2e j er 2 PDrop PIn 2 r 4m e (1 m 2e r )2 H 1 FC .sin2 ( / 2) F k 4e H (1 m 2e )2 FSR lFWHM 1 2arcsin F C r PdropMax Legame con i parametri fisici della trasmessa: l2 FSR 2 RNeff (l )ring r FSR 0 Dropped power (dB) EDrop ΔlFWHM -5 -10 -15 -20 2. 2 RNeffring l r 2 RdB / 8.68 -25 1535 1540 1545 1550 1555 1560 1565 Wavelength (nm) Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 67 Accoppiamento Laterale o Verticale Si3N4 SiON Si3N4 Si3N4 w SiO2 SiO2 Verticale Laterale Tecnologia 2-maschere 1-maschera Accoppiamento dovuto a - strato spesso di SiON - posizione relativa fra anello e guida - larghezza del gap w - cladding Progettazione della guida flessibile molto poco flessibile Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 68 Microrisonatori ad Anello – accoppiamento verticale Microscope image in the VIS Vidicon IR camera at ~1550nm Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 69 Microrisonatori ad Anello – accoppiamento verticale Through and Drop Wavelength Dependence Asymm.OFS: -0.5 Symm.OFS: 1.6 Device 2 0 -10 TE •FSR ≈ 8 nm -10 -30 -40 -20 -50 -30 1470 1490 1510 1530 l [nm] 1550 -60 1570 P drop [dB] P through [dB] -20 •Finesse ≈ 4 •Q ≈ 700 •18 dB on/off alla risonanza per la porta trasmessa •10 % di potenza dropped Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 70 Strutture nanometriche periodiche Cristalli fotonici Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 71 Definizione: Un cristallo fotonico è una organizzazione periodica di materiale dielettrico che esibisce una forte inetrazione con la luce Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 72 Esempi: 1D: Bragg Reflector 2D:cristalli a colonne di Si 3D: cristalli colloidali Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 73 Cristalli Fotonici 1D Specchi di Bragg Coating antiriflesso Legge di Bragg 2n averaged cos(q ) ml Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 74 Relazione di Dispersione k n1: materiale ad alto indice n2: materiale a basso indice c n frequency ω Onda stazionaria in n2 n1 n2 n1 n2 n1 n2 n1 bandgap Onda stazionaria in n1 0 π/a wave vector k Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 75 Onde di Bloch Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 76 Ci sono due modi per interpretare un’onda di Bloch: A e B Una onda di Bloch è un onda modulata da una funzione periodica Una onda di Bloch è costituita da diversi vettori d’onda Entrambe le rappresentazioni sono corrette ed identiche Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 77 frequency ω -π/a 0 π/a wave vector k L’onda di Bloch con vettore d’onda k è equivalente all’onda di Bloch con vettore d’onda k+m2/a: è chiamata la prima zona Scuola di Ottica - Ottica integrata Questa in strutture microe sub-micrometriche G. Breglio di Brillouin 78 Esempi Specchi dielettrici 400 – 900 nm Esempi dal catalogo Thorlabs Filtri Dicroici Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 79 Guide d’onda 1D a “cristallo fotonico” Joannopoulos et al. Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 80 Cristolli Fotonici 2D Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 81 Propagazione del campo per un cristallo fotonico 2D Nella direzione -M, polarizzazione TM dielectric band inside bandgap air band Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio Mode calculation with FEMLAB by Aarts TUE. 82 La struttura delle Bande per le due polarizzazioni Photonic bandgap Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 83 Cristallo Fotonico 2D con difetto Simulazione di una curva 90° in una guida d’onda a cristallo fotonico 2D. A.Mekis et al., PRL 77, 3787 (1996) Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 84 Photonic crystal waveguides Joannopoulos et al. Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 85 2D Silicon photonic crystal waveguide bend Zijlstra, van der Drift, De Dood, and Polman (DIMES, FOM) Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 86 Zijlstra, van der Drift, De Dood, and Polman (DIMES, FOM) Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 87 Silicon-on-insulator (SOI) Si SiO2 neff 1.7 n 1.5 Si Si SiO2 Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 88 Cristalli Fotonici 3D •Woodpile structures •Colloidal crystals •Inverse opals •Focused Ion Beam •... Photonic Bandgap: nelle tre direzioni sono inibite le propagazioni per le frequenze nel bandgap! W.L. Vos [AMOLF] 1 mm S.Y. Lin et al, Nature 394 (1998) 251 Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 89 Infiltrated colloidal crystal: - silica colloidal crystal - infiltration with polystyrene - etching of silica Colvin, MRS Bulletin 26, (2001) Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 90 Cristalli Fotonici 2D e 3D in semiconduttori III-V Noda, MRS Bulletin 26, (2001) lasers, modulatori, curve, demux Scuola di Ottica - Ottica integrata in strutture micro- e sub-micrometriche G. Breglio 91