תדבעמב הסינכ ןחובל םיאשונ UHV םיללכ םיגשומ

‫נושאים לבוחן כניסה במעבדת ‪UHV‬‬
‫‪ .1‬מושגים כללים‬
‫ראה ‪1.1, 1.2, 1.3, 1.8, 1.12 -‬‬
‫‪ .1.1‬לחץ ויחידות ללחץ‬
‫‪ .1.1‬תחומים של ואקום ו ‪UHV‬‬
‫‪ .1.1‬גזים אידיאליים‬
‫‪ .1.1‬מספר אבוגדרו‬
‫‪ .1.1‬מהלך חופשי ממוצע‬
‫‪ .1.1‬מוליכות חום של גז‬
‫‪ .1.1‬דיפוזיה‬
‫‪ .1‬ואקום גבוה וואקום אולטרה גבוהה‬
‫‪ .1.1‬עיצוב של מערכות ואקום גבוהה‬
‫ראה פרק ‪9‬‬
‫‪ .1.1.1‬חישובים עבור מערכות של ואקום גבוה‬
‫‪ .1.1.1‬הספק של מקורות בערכות של ואקום גבוה‬
‫‪ .1.1‬אינטראקציה של גזים עם משטחים‬
‫ראה – ‪10, 10.1, 10.2, 10.4‬‬
‫‪ .1.1.1‬ספיחה (כימית ופיזית) ספיגה והתנתקות‬
‫‪ .1.1.1‬פרמיאציה ודיפוזיה‬
‫‪ outgassing .1.1.1‬ואפיה‬
‫‪ .1.1‬מערכות לואקום אולטרה גבוה‬
‫ראה פרק ‪11‬‬
‫‪ .3‬אמצעים ליצירת ומדידת ואקום‬
‫‪ .1.1‬התנהגות של גזים במיכל‬
‫ראה ‪2, 2.1 -‬‬
‫‪ .1.1.1‬זרימה מוליכות והעברה‬
‫‪ .1.1.1‬סיפוח ושחרור‬
‫‪ .1.1.1‬אינטראקציה עם מוצקים‬
‫‪ .1.1.1‬לחץ בשווי משקל‬
‫‪ .1.1‬משאבות בשימוש במעבדה‬
‫ראה ‪3.3.5, 4.6, 4.8, 5.1-6, 5.9, 5.11 -‬‬
‫‪Diaphragm Pumps .1.1.1‬‬
‫‪ Turbomolecular pumps .1.1.1‬ומשאבות גיבוי (במקרה שלנו מסוג ‪)Diaphragm Pump‬‬
‫‪ Getter pumps .1.1.1‬וחומרי ‪ ( Getter‬במקרה שלנו מדובר ב ‪) Ti‬‬
‫‪( Sputter-ion pumps .1.1.1‬במקרה שלנו מסוג ‪) Triode‬‬
‫‪ .1.1‬מדידת הלחץ במיכל‬
‫ראה ‪6, 6.1, 6.8, 6.9, -‬‬
‫‪ .1.1.1‬מדי לחץ ויחידות ללחץ‬
‫‪ .1.1.1‬מדי לחץ על עקרון של מוליכות חום (במקרה שלנו ‪) Thermocouple‬‬
‫‪ .1.1.1‬מדי לחץ על עקרון של ינון (במקרה שלנו ‪) Bayard-Alpert‬‬
‫‪ .1‬ניתוח של גזים שיוריים ע"י ‪RGA‬‬
‫ראה – ‪7, 7.1, 7.2, 7.3, 7.6‬‬
‫‪ .1.1.1‬מקור היונים ואיסוף היונים‬
‫‪ .1.1.1‬אנאליזת המסות (במקרה שלנו ‪) Quadrupole Mass Analyzer‬‬
‫‪ .1.1.1‬עקרונות בניתוח הלחצים החלקיים‬
‫ההפניה היא לפרקים בספר ‪:‬‬
‫)‪VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY (Edited by J. M. Lafferty, QC166F68‬‬